电子工业专用设备
電子工業專用設備
전자공업전용설비
EQUIPMENT FOR ELECTRONIC PRODUCTS MANUFACTURING
2010年
12期
13-15
,共3页
白敏菂%冷宏%朱玉鹏%李超群
白敏菂%冷宏%硃玉鵬%李超群
백민적%랭굉%주옥붕%리초군
臭氧水溶液%臭氧浓度%硅片清洗%性价比
臭氧水溶液%臭氧濃度%硅片清洗%性價比
취양수용액%취양농도%규편청세%성개비
随着超大规模集成电路的发展,高浓度臭氧水溶液产生设备成为硅片清洗的关键设备.因此大连海事大学环境工程研究所研制成功国内首台dho31系列高浓度臭氧水溶液设备,它的臭氧水浓度达到20～30 mg/L.该设备采用强电场电离放电方法,将O2和H2O电离成高浓度氧活性粒 子O2+、O3、O(1D)、O(3P)和引发剂HO2-,在引发剂HO2-作用下,O3与H2O生成高浓度臭氧水溶液.它具有臭氧水浓度高、自动化程度高、能耗低、体积小、高性价比等特点,并着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标.
隨著超大規模集成電路的髮展,高濃度臭氧水溶液產生設備成為硅片清洗的關鍵設備.因此大連海事大學環境工程研究所研製成功國內首檯dho31繫列高濃度臭氧水溶液設備,它的臭氧水濃度達到20～30 mg/L.該設備採用彊電場電離放電方法,將O2和H2O電離成高濃度氧活性粒 子O2+、O3、O(1D)、O(3P)和引髮劑HO2-,在引髮劑HO2-作用下,O3與H2O生成高濃度臭氧水溶液.它具有臭氧水濃度高、自動化程度高、能耗低、體積小、高性價比等特點,併著重闡述瞭該設備的技術先進性及性能指標.
수착초대규모집성전로적발전,고농도취양수용액산생설비성위규편청세적관건설비.인차대련해사대학배경공정연구소연제성공국내수태dho31계렬고농도취양수용액설비,타적취양수농도체도20～30 mg/L.해설비채용강전장전리방전방법,장O2화H2O전리성고농도양활성립 자O2+、O3、O(1D)、O(3P)화인발제HO2-,재인발제HO2-작용하,O3여H2O생성고농도취양수용액.타구유취양수농도고、자동화정도고、능모저、체적소、고성개비등특점,병착중천술료해설비적기술선진성급성능지표.
