核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2009年
6期
431-434
,共4页
陆洋%王浪平%王小峰%于永澔%黄磊%谢志文
陸洋%王浪平%王小峰%于永澔%黃磊%謝誌文
륙양%왕랑평%왕소봉%우영호%황뢰%사지문
内表面%高压脉冲辉光放电%发射光谱%静电探针
內錶麵%高壓脈遲輝光放電%髮射光譜%靜電探針
내표면%고압맥충휘광방전%발사광보%정전탐침
为了提高内表面注入的剂量及深度均匀性,作者将脉冲高压辉光放电机制引入到内表面改性的研究中.利用发射光谱法及静电探针法对该方法获得的离子体参数进行了诊断,并在特定的内筒中采用氮气为工作气,进行了离子注入实验.结果显示,采用这种方法可以在内筒获得连续存在的等离子体.Ar等离子中含有大量激发态原子,而N等离子体中N2+离子占离子数量的绝大多数.等离子密度随着电压的提高显著提高,当电压从10kV增加到15kV时,Ar等离子体中离子密度增加约4倍,N等离子中离子密度增加约2倍.内表面获得均匀性良好的改性层,对于直径56mm的圆筒在电压20kV、气压1.5Pa条件下注入深度达到16.9nm,剂量均匀性可达到87.3%.
為瞭提高內錶麵註入的劑量及深度均勻性,作者將脈遲高壓輝光放電機製引入到內錶麵改性的研究中.利用髮射光譜法及靜電探針法對該方法穫得的離子體參數進行瞭診斷,併在特定的內筒中採用氮氣為工作氣,進行瞭離子註入實驗.結果顯示,採用這種方法可以在內筒穫得連續存在的等離子體.Ar等離子中含有大量激髮態原子,而N等離子體中N2+離子佔離子數量的絕大多數.等離子密度隨著電壓的提高顯著提高,噹電壓從10kV增加到15kV時,Ar等離子體中離子密度增加約4倍,N等離子中離子密度增加約2倍.內錶麵穫得均勻性良好的改性層,對于直徑56mm的圓筒在電壓20kV、氣壓1.5Pa條件下註入深度達到16.9nm,劑量均勻性可達到87.3%.
위료제고내표면주입적제량급심도균균성,작자장맥충고압휘광방전궤제인입도내표면개성적연구중.이용발사광보법급정전탐침법대해방법획득적리자체삼수진행료진단,병재특정적내통중채용담기위공작기,진행료리자주입실험.결과현시,채용저충방법가이재내통획득련속존재적등리자체.Ar등리자중함유대량격발태원자,이N등리자체중N2+리자점리자수량적절대다수.등리자밀도수착전압적제고현저제고,당전압종10kV증가도15kV시,Ar등리자체중리자밀도증가약4배,N등리자중리자밀도증가약2배.내표면획득균균성량호적개성층,대우직경56mm적원통재전압20kV、기압1.5Pa조건하주입심도체도16.9nm,제량균균성가체도87.3%.
