光谱学与光谱分析
光譜學與光譜分析
광보학여광보분석
SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
2008年
9期
2028-2032
,共5页
徐小丽%马书懿%陈彦%张国恒%孙小菁%魏晋军
徐小麗%馬書懿%陳彥%張國恆%孫小菁%魏晉軍
서소려%마서의%진언%장국항%손소정%위진군
ZnO薄膜%射频磁控溅射%X射线衍射%光致发光
ZnO薄膜%射頻磁控濺射%X射線衍射%光緻髮光
ZnO박막%사빈자공천사%X사선연사%광치발광
采用射频反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备出具有C轴高择优取向的ZnO薄膜,利用X射线衍射、扫描探针显微镜及荧光分光光度法研究了生长温度对ZnO薄膜微观结构及光致发光特性的影响.结果表明,合适的衬底温度有利于提高ZnO薄膜的结晶质量;在室温下测量样品的光致发光谱(PL),观察到波长位于400 nm左右的紫光、446 nm左右的蓝色发光峰及502 nm左右微弱的绿光峰,随衬底温度升高,样品的PL谱中紫光及蓝光强度逐渐增大,同时,绿光峰的强度也表现出一定程度的增强.经分析得出紫光应是激子发光所致,而锌填隙则是引起蓝光发射的主要原因,502 nm左右的绿光峰应该是氧的深能级缺陷造成的.此外,还测量了样品的吸收谱,并结合样品吸收谱的拟合结果对光致发光机理的分析作了进一步的验证.
採用射頻反應磁控濺射法在玻璃襯底上製備齣具有C軸高擇優取嚮的ZnO薄膜,利用X射線衍射、掃描探針顯微鏡及熒光分光光度法研究瞭生長溫度對ZnO薄膜微觀結構及光緻髮光特性的影響.結果錶明,閤適的襯底溫度有利于提高ZnO薄膜的結晶質量;在室溫下測量樣品的光緻髮光譜(PL),觀察到波長位于400 nm左右的紫光、446 nm左右的藍色髮光峰及502 nm左右微弱的綠光峰,隨襯底溫度升高,樣品的PL譜中紫光及藍光彊度逐漸增大,同時,綠光峰的彊度也錶現齣一定程度的增彊.經分析得齣紫光應是激子髮光所緻,而鋅填隙則是引起藍光髮射的主要原因,502 nm左右的綠光峰應該是氧的深能級缺陷造成的.此外,還測量瞭樣品的吸收譜,併結閤樣品吸收譜的擬閤結果對光緻髮光機理的分析作瞭進一步的驗證.
채용사빈반응자공천사법재파리츤저상제비출구유C축고택우취향적ZnO박막,이용X사선연사、소묘탐침현미경급형광분광광도법연구료생장온도대ZnO박막미관결구급광치발광특성적영향.결과표명,합괄적츤저온도유리우제고ZnO박막적결정질량;재실온하측량양품적광치발광보(PL),관찰도파장위우400 nm좌우적자광、446 nm좌우적람색발광봉급502 nm좌우미약적록광봉,수츤저온도승고,양품적PL보중자광급람광강도축점증대,동시,록광봉적강도야표현출일정정도적증강.경분석득출자광응시격자발광소치,이자전극칙시인기람광발사적주요원인,502 nm좌우적록광봉응해시양적심능급결함조성적.차외,환측량료양품적흡수보,병결합양품흡수보적의합결과대광치발광궤리적분석작료진일보적험증.
