微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
6期
27-30
,共4页
蓝宝石%化学机械抛光%纳米硅溶胶
藍寶石%化學機械拋光%納米硅溶膠
람보석%화학궤계포광%납미규용효
由于蓝宝石衬底片的精密加工工艺复杂,最优工艺参数尚未明确,是目前国内重点研究的难题.采用X62 81521型抛光机对蓝宝石衬底片的精密加工技术一化学机械抛光工艺进行了研究.通过对蓝宝石抛光工艺性能参数的系统分析,采用了粒径为40 nm、低分散度的碱性SiO2,溶胶抛光液;通过大量实验总结,提出了优化方案,在pH值11.7、温度40 °c、压力在0.12 Mpa至0.15 Mpa时,可以获得的去除速率为12.1μm/h,表面粗糙度为0.58 nm,有效地提高了蓝宝石表面的性能及加工效率.
由于藍寶石襯底片的精密加工工藝複雜,最優工藝參數尚未明確,是目前國內重點研究的難題.採用X62 81521型拋光機對藍寶石襯底片的精密加工技術一化學機械拋光工藝進行瞭研究.通過對藍寶石拋光工藝性能參數的繫統分析,採用瞭粒徑為40 nm、低分散度的堿性SiO2,溶膠拋光液;通過大量實驗總結,提齣瞭優化方案,在pH值11.7、溫度40 °c、壓力在0.12 Mpa至0.15 Mpa時,可以穫得的去除速率為12.1μm/h,錶麵粗糙度為0.58 nm,有效地提高瞭藍寶石錶麵的性能及加工效率.
유우람보석츤저편적정밀가공공예복잡,최우공예삼수상미명학,시목전국내중점연구적난제.채용X62 81521형포광궤대람보석츤저편적정밀가공기술일화학궤계포광공예진행료연구.통과대람보석포광공예성능삼수적계통분석,채용료립경위40 nm、저분산도적감성SiO2,용효포광액;통과대량실험총결,제출료우화방안,재pH치11.7、온도40 °c、압력재0.12 Mpa지0.15 Mpa시,가이획득적거제속솔위12.1μm/h,표면조조도위0.58 nm,유효지제고료람보석표면적성능급가공효솔.
