真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
5期
413-417
,共5页
段永利%许生%巴德纯%高文波%范垂祯
段永利%許生%巴德純%高文波%範垂禎
단영리%허생%파덕순%고문파%범수정
TiO2薄膜%亲水性%PEM%反应溅射
TiO2薄膜%親水性%PEM%反應濺射
TiO2박막%친수성%PEM%반응천사
本文采用中频反应磁控溅射方法在玻璃表面制备了TiO2薄膜,为使反应溅射的工作点能够稳定在"过渡区",得到较高的薄膜沉积速率,使用了等离子体发射光谱监控法(Plasma Emission Monitor,PEM)对溅射过程进行控制.利用台阶仪测膜厚,用X射线衍射(XRD)和透射率光谱扫描等测试方法对薄膜的特性进行表征.对制得的薄膜进行了光照试验,研究了温度、PEM工作点等不同工艺条件对薄膜亲水性的影响.薄膜经过1 h左右的紫外光照射,得到了很好的亲水性效果,其表面的水接触角达到了小于1°的水平.将薄膜经过光照后再置于黑暗中一段时间,如此循环了5次,仍具有很好的光致亲水效果,证明此过程是可以循环重复的.
本文採用中頻反應磁控濺射方法在玻璃錶麵製備瞭TiO2薄膜,為使反應濺射的工作點能夠穩定在"過渡區",得到較高的薄膜沉積速率,使用瞭等離子體髮射光譜鑑控法(Plasma Emission Monitor,PEM)對濺射過程進行控製.利用檯階儀測膜厚,用X射線衍射(XRD)和透射率光譜掃描等測試方法對薄膜的特性進行錶徵.對製得的薄膜進行瞭光照試驗,研究瞭溫度、PEM工作點等不同工藝條件對薄膜親水性的影響.薄膜經過1 h左右的紫外光照射,得到瞭很好的親水性效果,其錶麵的水接觸角達到瞭小于1°的水平.將薄膜經過光照後再置于黑暗中一段時間,如此循環瞭5次,仍具有很好的光緻親水效果,證明此過程是可以循環重複的.
본문채용중빈반응자공천사방법재파리표면제비료TiO2박막,위사반응천사적공작점능구은정재"과도구",득도교고적박막침적속솔,사용료등리자체발사광보감공법(Plasma Emission Monitor,PEM)대천사과정진행공제.이용태계의측막후,용X사선연사(XRD)화투사솔광보소묘등측시방법대박막적특성진행표정.대제득적박막진행료광조시험,연구료온도、PEM공작점등불동공예조건대박막친수성적영향.박막경과1 h좌우적자외광조사,득도료흔호적친수성효과,기표면적수접촉각체도료소우1°적수평.장박막경과광조후재치우흑암중일단시간,여차순배료5차,잉구유흔호적광치친수효과,증명차과정시가이순배중복적.
