中国稀土学报
中國稀土學報
중국희토학보
JOURNAL OF THE CHINESE RARE EARTH SOCIETY
2007年
4期
505-508
,共4页
杨冬梅%韩建儒%袁春雪%姜付义
楊鼕梅%韓建儒%袁春雪%薑付義
양동매%한건유%원춘설%강부의
化学溶液分解法%(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜%介电常数%稀土
化學溶液分解法%(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜%介電常數%稀土
화학용액분해법%(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7박막%개전상수%희토
采用化学溶液分解法(CSD)在p-Si(111)衬底上制备了(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜.用X射线衍射技术分析了薄膜的结构和结晶性,结果显示,在600℃退火10 min得到了结晶性较好、表面致密的多晶薄膜;用原子力显微镜描述了薄膜的表面形貌,与在XRD中观察到的择优取向是一致的;同时还研究了薄膜的电学性能.结果表明,在0～6 V范围内,薄膜的漏电流小于1.53×10-10 A;在室温100 kHz下,其介电常数为166,介电损耗因子为0.227,显示出薄膜具有较好的绝缘性和介电性能.
採用化學溶液分解法(CSD)在p-Si(111)襯底上製備瞭(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜.用X射線衍射技術分析瞭薄膜的結構和結晶性,結果顯示,在600℃退火10 min得到瞭結晶性較好、錶麵緻密的多晶薄膜;用原子力顯微鏡描述瞭薄膜的錶麵形貌,與在XRD中觀察到的擇優取嚮是一緻的;同時還研究瞭薄膜的電學性能.結果錶明,在0～6 V範圍內,薄膜的漏電流小于1.53×10-10 A;在室溫100 kHz下,其介電常數為166,介電損耗因子為0.227,顯示齣薄膜具有較好的絕緣性和介電性能.
채용화학용액분해법(CSD)재p-Si(111)츤저상제비료(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7박막.용X사선연사기술분석료박막적결구화결정성,결과현시,재600℃퇴화10 min득도료결정성교호、표면치밀적다정박막;용원자력현미경묘술료박막적표면형모,여재XRD중관찰도적택우취향시일치적;동시환연구료박막적전학성능.결과표명,재0～6 V범위내,박막적루전류소우1.53×10-10 A;재실온100 kHz하,기개전상수위166,개전손모인자위0.227,현시출박막구유교호적절연성화개전성능.
