绍兴文理学院学报(自然科学版)
紹興文理學院學報(自然科學版)
소흥문이학원학보(자연과학판)
JOURNAL OF SHAOXING COLLEGE OF ARTS AND SCIENCES(NATURAL SCIENCE)
2007年
8期
44-46,50
,共4页
TiO2薄膜%反应磁控溅射%沉积条件
TiO2薄膜%反應磁控濺射%沉積條件
TiO2박막%반응자공천사%침적조건
采用反应磁控溅射法在不同条件下制备了TiO2薄膜样品,研究了衬底温度、氧分压、溅射压强等生长条件对薄膜结构特性的影响.得到了反应磁控溅射法制备锐钛矿相TiO2薄膜的最佳沉积条件,并对薄膜的表面形貌进行了测量.
採用反應磁控濺射法在不同條件下製備瞭TiO2薄膜樣品,研究瞭襯底溫度、氧分壓、濺射壓彊等生長條件對薄膜結構特性的影響.得到瞭反應磁控濺射法製備銳鈦礦相TiO2薄膜的最佳沉積條件,併對薄膜的錶麵形貌進行瞭測量.
채용반응자공천사법재불동조건하제비료TiO2박막양품,연구료츤저온도、양분압、천사압강등생장조건대박막결구특성적영향.득도료반응자공천사법제비예태광상TiO2박막적최가침적조건,병대박막적표면형모진행료측량.
