传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
6期
39-42
,共4页
唐力强%李民强%陈建群%张宾%王英先
唐力彊%李民彊%陳建群%張賓%王英先
당력강%리민강%진건군%장빈%왕영선
厚膜%电容式压力传感器%感压元件
厚膜%電容式壓力傳感器%感壓元件
후막%전용식압력전감기%감압원건
采用厚膜传感技术研制新型陶瓷电容式压力传感器, 重点开展厚膜陶瓷电容感压元件的制备工艺和混合集成化研究.详细阐述了双电容感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试.试验结果表明:研制的感压元件性能良好,非线性误差低于1.0 %,迟滞误差小于0.5 %,测试电容和参考电容温度系数近乎一致.
採用厚膜傳感技術研製新型陶瓷電容式壓力傳感器, 重點開展厚膜陶瓷電容感壓元件的製備工藝和混閤集成化研究.詳細闡述瞭雙電容感壓元件的工作原理、結構設計、工藝製備方法及性能測試.試驗結果錶明:研製的感壓元件性能良好,非線性誤差低于1.0 %,遲滯誤差小于0.5 %,測試電容和參攷電容溫度繫數近乎一緻.
채용후막전감기술연제신형도자전용식압력전감기, 중점개전후막도자전용감압원건적제비공예화혼합집성화연구.상세천술료쌍전용감압원건적공작원리、결구설계、공예제비방법급성능측시.시험결과표명:연제적감압원건성능량호,비선성오차저우1.0 %,지체오차소우0.5 %,측시전용화삼고전용온도계수근호일치.
