光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2006年
3期
265-268
,共4页
宋洁%陈垦%徐端颐%潘龙法%倪屹%张启程
宋潔%陳墾%徐耑頤%潘龍法%倪屹%張啟程
송길%진은%서단이%반룡법%예흘%장계정
母盘%抗蚀剂%曝光%显影
母盤%抗蝕劑%曝光%顯影
모반%항식제%폭광%현영
介绍了光刻胶的性能和反应机理,建立了光刻模型,讨论了曝光和显影对信息符的综合影响并对信息符形貌进行了仿真,着重分析刻录激光光斑能量分布对不同周期记录符的影响.以Shipley AZ-1350光刻胶和相应的显影液以及DVD母盘的生产为例,验证了仿真的正确性.
介紹瞭光刻膠的性能和反應機理,建立瞭光刻模型,討論瞭曝光和顯影對信息符的綜閤影響併對信息符形貌進行瞭倣真,著重分析刻錄激光光斑能量分佈對不同週期記錄符的影響.以Shipley AZ-1350光刻膠和相應的顯影液以及DVD母盤的生產為例,驗證瞭倣真的正確性.
개소료광각효적성능화반응궤리,건립료광각모형,토론료폭광화현영대신식부적종합영향병대신식부형모진행료방진,착중분석각록격광광반능량분포대불동주기기록부적영향.이Shipley AZ-1350광각효화상응적현영액이급DVD모반적생산위례,험증료방진적정학성.
