物理学报
物理學報
물이학보
2006年
2期
748-752
,共5页
兰伟%刘雪芹%黄春明%唐国梅%杨扬%王印月
蘭偉%劉雪芹%黃春明%唐國梅%楊颺%王印月
란위%류설근%황춘명%당국매%양양%왕인월
ZnO:In薄膜%晶体结构%掠角入射X射线衍射%溶胶凝胶法
ZnO:In薄膜%晶體結構%掠角入射X射線衍射%溶膠凝膠法
ZnO:In박막%정체결구%략각입사X사선연사%용효응효법
采用溶胶凝胶法,结合旋转涂敷技术在石英衬底上制备了210-240nm厚度的ZnO:In薄膜.使用掠角入射X射线衍射(GI-XRD)、常规X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、光致发光谱以及不同入射角GI-XRD谱(α=1,2,3和5°)等手段,对不同掺杂浓度的ZnO:In薄膜进行了结构分析.发现ZnO:In薄膜内部是由大尺寸(002晶向的无应力ZnO晶粒堆积而成,而薄膜表面主要是小尺寸的(002和(103)晶粒,并且适量的In掺杂能有效改善ZnO薄膜内部的晶体结构特性.
採用溶膠凝膠法,結閤鏇轉塗敷技術在石英襯底上製備瞭210-240nm厚度的ZnO:In薄膜.使用掠角入射X射線衍射(GI-XRD)、常規X射線衍射、傅裏葉變換紅外光譜、原子力顯微鏡、光緻髮光譜以及不同入射角GI-XRD譜(α=1,2,3和5°)等手段,對不同摻雜濃度的ZnO:In薄膜進行瞭結構分析.髮現ZnO:In薄膜內部是由大呎吋(002晶嚮的無應力ZnO晶粒堆積而成,而薄膜錶麵主要是小呎吋的(002和(103)晶粒,併且適量的In摻雜能有效改善ZnO薄膜內部的晶體結構特性.
채용용효응효법,결합선전도부기술재석영츤저상제비료210-240nm후도적ZnO:In박막.사용략각입사X사선연사(GI-XRD)、상규X사선연사、부리협변환홍외광보、원자력현미경、광치발광보이급불동입사각GI-XRD보(α=1,2,3화5°)등수단,대불동참잡농도적ZnO:In박막진행료결구분석.발현ZnO:In박막내부시유대척촌(002정향적무응력ZnO정립퇴적이성,이박막표면주요시소척촌적(002화(103)정립,병차괄량적In참잡능유효개선ZnO박막내부적정체결구특성.
