仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2006年
1期
6-7,17
,共3页
张建雄%孙宝元%戴恒震%胡旭晓
張建雄%孫寶元%戴恆震%鬍旭曉
장건웅%손보원%대항진%호욱효
电容%传感器%微位移%高线性%检测电路
電容%傳感器%微位移%高線性%檢測電路
전용%전감기%미위이%고선성%검측전로
设计一种新型电容式微位移传感器,给出了检测电路.原理为20 kHz的正弦信号加在传感器上,传感器产生的交流电压与电容电极之间的距离成正比.电路包括正弦信号发生电路、精密全波整流电路、滤波电路和信号放大电路.实验证明:该传感器线性度小于3%,分辨率优于0.01 μm.
設計一種新型電容式微位移傳感器,給齣瞭檢測電路.原理為20 kHz的正絃信號加在傳感器上,傳感器產生的交流電壓與電容電極之間的距離成正比.電路包括正絃信號髮生電路、精密全波整流電路、濾波電路和信號放大電路.實驗證明:該傳感器線性度小于3%,分辨率優于0.01 μm.
설계일충신형전용식미위이전감기,급출료검측전로.원리위20 kHz적정현신호가재전감기상,전감기산생적교류전압여전용전겁지간적거리성정비.전로포괄정현신호발생전로、정밀전파정류전로、려파전로화신호방대전로.실험증명:해전감기선성도소우3%,분변솔우우0.01 μm.
