过程工程学报
過程工程學報
과정공정학보
The Chinese Journal of Process Engineering
2004年
z1期
84-88
,共5页
苏程裕%郭家宏%林中魁%萧威典
囌程裕%郭傢宏%林中魁%蕭威典
소정유%곽가굉%림중괴%소위전
电浆熔射%奈米粉体%层状组织%介电性质
電漿鎔射%奈米粉體%層狀組織%介電性質
전장용사%내미분체%층상조직%개전성질
本研究分别使用传统和奈米级Al2O3/13%(ω)TiO2粉体进行电浆熔射涂层喷覆,并进行结构与特性研究.实验结果显示,从微观结构组织观察得知,传统熔射涂层结构为层状组织(Lamellar Structure),内含部分Al2O3未熔颗粒、Al2O3和TiO2中间相组织与TiO2熔融组织.奈米级熔射涂层结构,除了层状组织外,出现许多颗粒状部分熔融(Partially-Molten)组织,散布于层状组织周围与基材界面处,原来α-Al2O3部分变态为γ-Al2O3,TiO2结晶则固溶于氧化铝涂层中.介电特性方面,奈米级Al2O3/13%(ω)TiO2熔射涂层之崩溃电压为1500 V,介电强度约4.5 kV/mm,介电常数为5.22,相较于传统粉体所喷覆之涂层,半导体特性上有相当大的改变.
本研究分彆使用傳統和奈米級Al2O3/13%(ω)TiO2粉體進行電漿鎔射塗層噴覆,併進行結構與特性研究.實驗結果顯示,從微觀結構組織觀察得知,傳統鎔射塗層結構為層狀組織(Lamellar Structure),內含部分Al2O3未鎔顆粒、Al2O3和TiO2中間相組織與TiO2鎔融組織.奈米級鎔射塗層結構,除瞭層狀組織外,齣現許多顆粒狀部分鎔融(Partially-Molten)組織,散佈于層狀組織週圍與基材界麵處,原來α-Al2O3部分變態為γ-Al2O3,TiO2結晶則固溶于氧化鋁塗層中.介電特性方麵,奈米級Al2O3/13%(ω)TiO2鎔射塗層之崩潰電壓為1500 V,介電彊度約4.5 kV/mm,介電常數為5.22,相較于傳統粉體所噴覆之塗層,半導體特性上有相噹大的改變.
본연구분별사용전통화내미급Al2O3/13%(ω)TiO2분체진행전장용사도층분복,병진행결구여특성연구.실험결과현시,종미관결구조직관찰득지,전통용사도층결구위층상조직(Lamellar Structure),내함부분Al2O3미용과립、Al2O3화TiO2중간상조직여TiO2용융조직.내미급용사도층결구,제료층상조직외,출현허다과립상부분용융(Partially-Molten)조직,산포우층상조직주위여기재계면처,원래α-Al2O3부분변태위γ-Al2O3,TiO2결정칙고용우양화려도층중.개전특성방면,내미급Al2O3/13%(ω)TiO2용사도층지붕궤전압위1500 V,개전강도약4.5 kV/mm,개전상수위5.22,상교우전통분체소분복지도층,반도체특성상유상당대적개변.
