热丝辅助ECR-CVD制备a-Si:H薄膜的红外和光致衰退研究
열사보조ECR-CVD제비a-Si:H박막적홍외화광치쇠퇴연구
Ivestigation of infrared spectra and light-induced degradation of the a-Si:H film synthesized by ECR-CVD assisted hot-wire
  • 万方数据
    功能材料 공능재료
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
    2004年 z1期 3181-3183 ,共3页

    荣延栋%阴生毅%胡跃辉%吴越颖%朱秀红%周怀恩%张文理%邓金祥%陈光华

    영연동%음생의%호약휘%오월영%주수홍%주부은%장문리%산금상%진광화

    非晶硅%红外%光致衰退 非晶硅%紅外%光緻衰退
    비정규%홍외%광치쇠퇴
    采用热丝辅助MWECR-CVD系统制备出了a-Si:H薄膜.应用傅立叶红外仪测量了薄膜的红外谱,用共面蒸铝电极法测量了薄膜的光电导.通过比较A样品(加入热丝)和B样品(未加热丝),得出在热丝辅助MWECR-CVD系统制备非晶硅薄膜过程中,热丝的光照对薄膜的抗衰退起到了关键作用,用该系统制备非晶硅薄膜,大大降低了薄膜中的总氢含量,提高了薄膜的稳定性,同时,Si-H键合体的摇摆模发生了红移.
    채용열사보조MWECR-CVD계통제비출료a-Si:H박막.응용부립협홍외의측량료박막적홍외보,용공면증려전겁법측량료박막적광전도.통과비교A양품(가입열사)화B양품(미가열사),득출재열사보조MWECR-CVD계통제비비정규박막과정중,열사적광조대박막적항쇠퇴기도료관건작용,용해계통제비비정규박막,대대강저료박막중적총경함량,제고료박막적은정성,동시,Si-H건합체적요파모발생료홍이.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문