湖北汽车工业学院学报
湖北汽車工業學院學報
호북기차공업학원학보
JOURNAL OF HUBEI AUTOMOTIVE INDUSTRIES INSTITUTE
2001年
4期
16-20
,共5页
氟化类金刚石薄膜%研究进展
氟化類金剛石薄膜%研究進展
불화류금강석박막%연구진전
类金刚石薄膜是80年代初出现的新型非金属薄膜材料之一 ,其优异的综合性能引起了人们极大的兴趣.本文对类金刚石薄膜的近期进展进行了概括性介绍,重点介绍在此基础上发展起来的氟化类金刚石薄膜材料(FDLC),包括氟元素对类金刚石薄膜(DLC)在结构、性能及在沉积工艺上所带来的的影响等.
類金剛石薄膜是80年代初齣現的新型非金屬薄膜材料之一 ,其優異的綜閤性能引起瞭人們極大的興趣.本文對類金剛石薄膜的近期進展進行瞭概括性介紹,重點介紹在此基礎上髮展起來的氟化類金剛石薄膜材料(FDLC),包括氟元素對類金剛石薄膜(DLC)在結構、性能及在沉積工藝上所帶來的的影響等.
류금강석박막시80년대초출현적신형비금속박막재료지일 ,기우이적종합성능인기료인문겁대적흥취.본문대류금강석박막적근기진전진행료개괄성개소,중점개소재차기출상발전기래적불화류금강석박막재료(FDLC),포괄불원소대류금강석박막(DLC)재결구、성능급재침적공예상소대래적적영향등.
