深圳大学学报(理工版)
深圳大學學報(理工版)
심수대학학보(리공판)
JOURNAL OF SHENZHEN UNIVERISYT SCIENCE & ENGINEERING
2001年
2期
23-27
,共5页
曝光面积%闭轨畸变%水平磁场
曝光麵積%閉軌畸變%水平磁場
폭광면적%폐궤기변%수평자장
根据以水平磁场控制束团垂直闭轨和垂直发散角，设法增加光刻基片曝光面积的思想，对合肥同步辐射光源进行分析，提出了适用方案. 指出在合肥同步辐射光源上用两个现有的垂直校正铁，只要加上不大的水平磁场，即可使光刻基片的曝光面积增大2～4倍，达到所需要求，且在该两个校正铁以外的闭轨不发生畸变.
根據以水平磁場控製束糰垂直閉軌和垂直髮散角，設法增加光刻基片曝光麵積的思想，對閤肥同步輻射光源進行分析，提齣瞭適用方案. 指齣在閤肥同步輻射光源上用兩箇現有的垂直校正鐵，隻要加上不大的水平磁場，即可使光刻基片的曝光麵積增大2～4倍，達到所需要求，且在該兩箇校正鐵以外的閉軌不髮生畸變.
근거이수평자장공제속단수직폐궤화수직발산각，설법증가광각기편폭광면적적사상，대합비동보복사광원진행분석，제출료괄용방안. 지출재합비동보복사광원상용량개현유적수직교정철，지요가상불대적수평자장，즉가사광각기편적폭광면적증대2～4배，체도소수요구，차재해량개교정철이외적폐궤불발생기변.
