CAJ | 학술논문

提出了一种简便易行、并与有机薄膜电致发光器件制备工艺完全兼容的工艺检测方法——覆膜加热观测法。这种方法是在器件的制备工艺过程中，同时在铟锡氧化物(ITO)电极和各层有机薄膜上覆盖一层不透气的薄膜(如金属Al膜等)，接着进行快速加热，最后对器件表面进行形貌观测。采用这种方法，观察了器件表面气泡的形成过程，观察了加热温度、ITO表面处理以及有机物纯度对气泡形成的影响。实验表明，覆膜加热观测法能有效地对工艺进行对比检测，从而达到改进工艺、提高器件质量的目的。
제출료일충간편역행、병여유궤박막전치발광기건제비공예완전겸용적공예검측방법——복막가열관측법。저충방법시재기건적제비공예과정중，동시재인석양화물(ITO)전겁화각층유궤박막상복개일층불투기적박막(여금속Al막등)，접착진행쾌속가열，최후대기건표면진행형모관측。채용저충방법，관찰료기건표면기포적형성과정，관찰료가열온도、ITO표면처리이급유궤물순도대기포형성적영향。실험표명，복막가열관측법능유효지대공예진행대비검측，종이체도개진공예、제고기건질량적목적。