同济大学学报（自然科学版）
同濟大學學報（自然科學版）
동제대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF TONGJI UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2000年
3期
312-315
,共4页
顾牡%汤学峰%吴广明%陈玲燕
顧牡%湯學峰%吳廣明%陳玲燕
고모%탕학봉%오엄명%진령연
In衰减膜%α能谱测厚仪%俄歇电子谱
In衰減膜%α能譜測厚儀%俄歇電子譜
In쇠감막%α능보측후의%아헐전자보
通过对制备工艺的摸索,制备出用于软X光激光实验的In衰减膜;利用α能谱测厚仪对In衰减膜的质量厚度进行了测量;通过俄歇电子谱并结合Ar离子刻蚀对In膜表面氧化及氧元素质量分数的深度分布进行了分析.
通過對製備工藝的摸索,製備齣用于軟X光激光實驗的In衰減膜;利用α能譜測厚儀對In衰減膜的質量厚度進行瞭測量;通過俄歇電子譜併結閤Ar離子刻蝕對In膜錶麵氧化及氧元素質量分數的深度分佈進行瞭分析.
통과대제비공예적모색,제비출용우연X광격광실험적In쇠감막;이용α능보측후의대In쇠감막적질량후도진행료측량;통과아헐전자보병결합Ar리자각식대In막표면양화급양원소질량분수적심도분포진행료분석.
