稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
1998年
6期
450-452
,共3页
屠海令%张峰翊%王永鸿%钱嘉裕%马碧春
屠海令%張峰翊%王永鴻%錢嘉裕%馬碧春
도해령%장봉익%왕영홍%전가유%마벽춘
复合寿命%半绝缘GaAs%激光/微波光电导衰减
複閤壽命%半絕緣GaAs%激光/微波光電導衰減
복합수명%반절연GaAs%격광/미파광전도쇠감
采用非接触式激光/微波光电导衰减技术 (LM-PCD) 对Φ50.8 mm双面抛光的半绝缘GaAs晶片的复合寿命进行了无损伤检测, 得到了有效载流子寿命沿晶片直径的径向分布曲线. 结果表明, 复合寿命为几百纳秒, 在径向呈"M"型分布, 和半绝缘GaAs晶片中EPD的"W"型分布相反. 在考虑了位错密度和掺杂浓度对寿命的影响的基础上, 对GaAs晶片的寿命进行了讨论.
採用非接觸式激光/微波光電導衰減技術 (LM-PCD) 對Φ50.8 mm雙麵拋光的半絕緣GaAs晶片的複閤壽命進行瞭無損傷檢測, 得到瞭有效載流子壽命沿晶片直徑的徑嚮分佈麯線. 結果錶明, 複閤壽命為幾百納秒, 在徑嚮呈"M"型分佈, 和半絕緣GaAs晶片中EPD的"W"型分佈相反. 在攷慮瞭位錯密度和摻雜濃度對壽命的影響的基礎上, 對GaAs晶片的壽命進行瞭討論.
채용비접촉식격광/미파광전도쇠감기술 (LM-PCD) 대Φ50.8 mm쌍면포광적반절연GaAs정편적복합수명진행료무손상검측, 득도료유효재류자수명연정편직경적경향분포곡선. 결과표명, 복합수명위궤백납초, 재경향정"M"형분포, 화반절연GaAs정편중EPD적"W"형분포상반. 재고필료위착밀도화참잡농도대수명적영향적기출상, 대GaAs정편적수명진행료토론.
