物理学报
物理學報
물이학보
2002年
12期
2896-2900
,共5页
董正高%沈明荣%徐闰%甘肇强%葛水兵
董正高%瀋明榮%徐閏%甘肇彊%葛水兵
동정고%침명영%서윤%감조강%갈수병
脉冲激光沉积,%介电弛豫,%动态随机存储器
脈遲激光沉積,%介電弛豫,%動態隨機存儲器
맥충격광침적,%개전이예,%동태수궤존저기
研究了在不同温度区间氧气氛和氮气氛退火后处理对Pt/Ba0.8Sr0.2TiO3/Pt介电特性的影响.经过高温550℃氮气退火处理后,再放入350℃的氧气中退火,发现样品的介电特性出现了非常明显的低频弛豫现象, 并且这种低频弛豫现象在350℃的氮气中退火后将会消失.通过在出现低频弛豫现象的样品的上下电极加一偏压,可以发现低频弛豫现象更加明显,并且在撤消偏压后这种增强将会逐渐减弱,直至最终恢复到偏压前的弛豫状态.
研究瞭在不同溫度區間氧氣氛和氮氣氛退火後處理對Pt/Ba0.8Sr0.2TiO3/Pt介電特性的影響.經過高溫550℃氮氣退火處理後,再放入350℃的氧氣中退火,髮現樣品的介電特性齣現瞭非常明顯的低頻弛豫現象, 併且這種低頻弛豫現象在350℃的氮氣中退火後將會消失.通過在齣現低頻弛豫現象的樣品的上下電極加一偏壓,可以髮現低頻弛豫現象更加明顯,併且在撤消偏壓後這種增彊將會逐漸減弱,直至最終恢複到偏壓前的弛豫狀態.
연구료재불동온도구간양기분화담기분퇴화후처리대Pt/Ba0.8Sr0.2TiO3/Pt개전특성적영향.경과고온550℃담기퇴화처리후,재방입350℃적양기중퇴화,발현양품적개전특성출현료비상명현적저빈이예현상, 병차저충저빈이예현상재350℃적담기중퇴화후장회소실.통과재출현저빈이예현상적양품적상하전겁가일편압,가이발현저빈이예현상경가명현,병차재철소편압후저충증강장회축점감약,직지최종회복도편압전적이예상태.
