非平衡磁控溅射系统的研究
비평형자공천사계통적연구
Research of Unbalanced Magnetron Sputtering System
  • 万方数据
    新技术新工艺 신기술신공예
    NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
    2002年 6期 19-20 ,共2页

    何万强%雷旭%徐新乐

    하만강%뢰욱%서신악

    非平衡磁控%溅射%应用 非平衡磁控%濺射%應用
    비평형자공%천사%응용
    介绍了非平衡磁控溅射系统的原理、试验性能情况,并简要介绍了该系统的一些应用.
    개소료비평형자공천사계통적원리、시험성능정황,병간요개소료해계통적일사응용.
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