功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2002年
3期
289-292
,共4页
静态特性%压阻式加速度计%薄板
靜態特性%壓阻式加速度計%薄闆
정태특성%압조식가속도계%박판
介绍了一种简单而有效的天平方法来检测高量程微机械加速度传感器芯片的静态特性.设计了一种新结构,上面带有压敏电阻,用该方法测量到的静态特性和理论结果比较,两者基本一致,芯片的静态输出特性在测量限20000g(g为重力加速度)内呈直线,非线性为1%左右,灵敏度与理论值在20%的偏差内一致.由于其操作简单、低廉且有较高的分辨率,这种方法适合于平板型高量程压阻式加速度传感器芯片封装前进行抽样检测.
介紹瞭一種簡單而有效的天平方法來檢測高量程微機械加速度傳感器芯片的靜態特性.設計瞭一種新結構,上麵帶有壓敏電阻,用該方法測量到的靜態特性和理論結果比較,兩者基本一緻,芯片的靜態輸齣特性在測量限20000g(g為重力加速度)內呈直線,非線性為1%左右,靈敏度與理論值在20%的偏差內一緻.由于其操作簡單、低廉且有較高的分辨率,這種方法適閤于平闆型高量程壓阻式加速度傳感器芯片封裝前進行抽樣檢測.
개소료일충간단이유효적천평방법래검측고량정미궤계가속도전감기심편적정태특성.설계료일충신결구,상면대유압민전조,용해방법측량도적정태특성화이론결과비교,량자기본일치,심편적정태수출특성재측량한20000g(g위중력가속도)내정직선,비선성위1%좌우,령민도여이론치재20%적편차내일치.유우기조작간단、저렴차유교고적분변솔,저충방법괄합우평판형고량정압조식가속도전감기심편봉장전진행추양검측.
