材料科学与工程
材料科學與工程
재료과학여공정
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2002年
3期
325-327,460
,共4页
溶胶-凝胶技术%薄膜%红外光谱
溶膠-凝膠技術%薄膜%紅外光譜
용효-응효기술%박막%홍외광보
本文应用傅立叶变换红外光谱仪研究了组分、热处理温度对溶胶-凝胶技术制备的SiO2、P2O5-SiO2、B2O3-SiO2以及P2O5-B2O3-SiO2系统薄膜结构的影响规律.随热处理温度增加,薄膜中硅氧、硼磷氧、磷硅氧和硼硅氧网络逐渐增强.但薄膜中P2O5和B2O3的含量存在一个饱和值,多余的P2O5和B2O3掺入量不能有效进入薄膜网络中.
本文應用傅立葉變換紅外光譜儀研究瞭組分、熱處理溫度對溶膠-凝膠技術製備的SiO2、P2O5-SiO2、B2O3-SiO2以及P2O5-B2O3-SiO2繫統薄膜結構的影響規律.隨熱處理溫度增加,薄膜中硅氧、硼燐氧、燐硅氧和硼硅氧網絡逐漸增彊.但薄膜中P2O5和B2O3的含量存在一箇飽和值,多餘的P2O5和B2O3摻入量不能有效進入薄膜網絡中.
본문응용부립협변환홍외광보의연구료조분、열처리온도대용효-응효기술제비적SiO2、P2O5-SiO2、B2O3-SiO2이급P2O5-B2O3-SiO2계통박막결구적영향규률.수열처리온도증가,박막중규양、붕린양、린규양화붕규양망락축점증강.단박막중P2O5화B2O3적함량존재일개포화치,다여적P2O5화B2O3참입량불능유효진입박막망락중.