铒偏析与沉淀对掺铒硅1.54 μm光发射的影响
이편석여침정대참이규1.54 μm광발사적영향
Effect of Erbium-Segregation and Precipitation on 1.54 μm Light Emission from Erbium-Doped Silicon
  • 万方数据
    中国稀土学报 중국희토학보
    JOURNAL OF THE CHINESE RARE EARTH SOCIETY
    2002年 1期 68-71 ,共4页

    徐飞%肖志松%程国安%易仲珍%曾宇昕%张通和%顾岚岚

    서비%초지송%정국안%역중진%증우흔%장통화%고람람

    稀土%离子注入%掺铒硅%偏析%光致发光 稀土%離子註入%摻鉺硅%偏析%光緻髮光
    희토%리자주입%참이규%편석%광치발광
    用金属蒸气真空弧离子源(MEVVA)制备高浓度掺铒硅发光薄膜, 研究高浓度Er掺杂发光薄膜中Er的偏析与沉淀现象对1.54 μm光发射的影响. RBS分析表明, Er的掺杂浓度可达～10%(原子分数), 即Er原子体浓度为1×1021 cm-3. XRD分析掺铒硅薄膜的物相结构发现, Er在薄膜中的存在形式与离子注入参数有关. Er的偏析、沉淀以及辐照损伤等因素会影响掺铒硅薄膜的1.54 μm光发射.
    용금속증기진공호리자원(MEVVA)제비고농도참이규발광박막, 연구고농도Er참잡발광박막중Er적편석여침정현상대1.54 μm광발사적영향. RBS분석표명, Er적참잡농도가체～10%(원자분수), 즉Er원자체농도위1×1021 cm-3. XRD분석참이규박막적물상결구발현, Er재박막중적존재형식여리자주입삼수유관. Er적편석、침정이급복조손상등인소회영향참이규박막적1.54 μm광발사.
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