功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2002年
1期
40-44
,共5页
加速度计%横向效应%非线性%静态测量
加速度計%橫嚮效應%非線性%靜態測量
가속도계%횡향효응%비선성%정태측량
对分度头检测加速度计静态特性相关的几何物理问题进行了分析,结果表明,传感器在分度头上的安装偏差角和传感器自身固有的横向效应都会影响检测精度.用分度头对加速度计进行静态特性的检测,横向效应包含在测量结果的非线性中.用非线性和横向效应都很小的加速度传感器作为试样,在分度头上人为安装有00、50和150的偏角时,检测到的非线性随偏角的增加而变大,与理论分析一致.利用高分辨分度头寻找能降低悬臂梁压阻式加速度传感器横向效应的基准面,以此基准面封装成的传感器的横向效应和非线性的综合效果小于0.05%.
對分度頭檢測加速度計靜態特性相關的幾何物理問題進行瞭分析,結果錶明,傳感器在分度頭上的安裝偏差角和傳感器自身固有的橫嚮效應都會影響檢測精度.用分度頭對加速度計進行靜態特性的檢測,橫嚮效應包含在測量結果的非線性中.用非線性和橫嚮效應都很小的加速度傳感器作為試樣,在分度頭上人為安裝有00、50和150的偏角時,檢測到的非線性隨偏角的增加而變大,與理論分析一緻.利用高分辨分度頭尋找能降低懸臂樑壓阻式加速度傳感器橫嚮效應的基準麵,以此基準麵封裝成的傳感器的橫嚮效應和非線性的綜閤效果小于0.05%.
대분도두검측가속도계정태특성상관적궤하물리문제진행료분석,결과표명,전감기재분도두상적안장편차각화전감기자신고유적횡향효응도회영향검측정도.용분도두대가속도계진행정태특성적검측,횡향효응포함재측량결과적비선성중.용비선성화횡향효응도흔소적가속도전감기작위시양,재분도두상인위안장유00、50화150적편각시,검측도적비선성수편각적증가이변대,여이론분석일치.이용고분변분도두심조능강저현비량압조식가속도전감기횡향효응적기준면,이차기준면봉장성적전감기적횡향효응화비선성적종합효과소우0.05%.
