室温工作双敏感膜HSGFET型O3传感器的研究
실온공작쌍민감막HSGFET형O3전감기적연구
HSGFET Ozone Sensor with Dual Sensitive Layer Operating at Room Temperature
  • 万方数据
    电子学报 전자학보
    ACTA ELECTRONICA SINICA
    2001年 5期 604-606 ,共3页

    牛文成%孙学珠%吴小晔%李华伟%那兴波%俞梅%陈兴梧%张福海%谢建湘

    우문성%손학주%오소엽%리화위%나흥파%유매%진흥오%장복해%사건상

    复合悬浮栅场效应管%功函数%双敏感膜%臭氧传感器 複閤懸浮柵場效應管%功函數%雙敏感膜%臭氧傳感器
    복합현부책장효응관%공함수%쌍민감막%취양전감기
    本文研究室温下工作，具有双敏感膜，检测ppb范围内O3浓度的复合悬浮栅FET（Hybrid Suspended Gate Field Effect Transistor即HSGFET）型臭氧传感器.文中给出了四种固态HSGFET型臭氧传感器的实验结果，发现具有［KI/A/LaF3］结构的传感器对O3有很好的响应特性；实验结果与由开尔芬（Kelvin）探针得到的结果进行了比较.
    본문연구실온하공작，구유쌍민감막，검측ppb범위내O3농도적복합현부책FET（Hybrid Suspended Gate Field Effect Transistor즉HSGFET）형취양전감기.문중급출료사충고태HSGFET형취양전감기적실험결과，발현구유［KI/A/LaF3］결구적전감기대O3유흔호적향응특성；실험결과여유개이분（Kelvin）탐침득도적결과진행료비교.
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