光散射学报
光散射學報
광산사학보
CHINESE JOURNAL OF LIGHT SCATTERING
2004年
2期
153-158
,共6页
林晓春%向健勇%郭艳艳%葛启东
林曉春%嚮健勇%郭豔豔%葛啟東
림효춘%향건용%곽염염%갈계동
VLSI制造%缺陷散射%T矩阵%数值算法%工程软件
VLSI製造%缺陷散射%T矩陣%數值算法%工程軟件
VLSI제조%결함산사%T구진%수치산법%공정연건
本文介绍用T矩阵方法来计算表面缺陷散射场时所用到的几个特殊函数的计算机数值编程方法.主要是球贝塞耳函数的算法、球汉克函数的算法、函数dn0m(θ)的算法和T矩阵的算法.所用编程语言为Delphi6.0.
本文介紹用T矩陣方法來計算錶麵缺陷散射場時所用到的幾箇特殊函數的計算機數值編程方法.主要是毬貝塞耳函數的算法、毬漢剋函數的算法、函數dn0m(θ)的算法和T矩陣的算法.所用編程語言為Delphi6.0.
본문개소용T구진방법래계산표면결함산사장시소용도적궤개특수함수적계산궤수치편정방법.주요시구패새이함수적산법、구한극함수적산법、함수dn0m(θ)적산법화T구진적산법.소용편정어언위Delphi6.0.
