CAJ | 학술논문

采用无机试剂SnCl2·2H2O及InCl3*4H2O为原料,用溶胶-凝胶提拉法制备了铟锡比不同的氧化铟锡薄膜构成的气敏传感器阵列,并对薄膜的电学性能及气敏性能进行了表征.结果表明,不同铟锡比组成的氧化铟锡薄膜不但载流子浓度不同,而且导电类型也不同,即阵列中每个传感器薄膜的载流子浓度和导电类型是不同的.当气体分子与阵列中的传感器表面接触时,由于载流子种类、载流子浓度、费米能级等的不同,导致电荷转移情况也不同,使得阵列具有很好的选择性.通过对甲醛、苯、甲苯、二甲苯的测试,证明此阵列对四种室内污染气体具有较好的选择性.
채용무궤시제SnCl2·2H2O급InCl3*4H2O위원료,용용효-응효제랍법제비료인석비불동적양화인석박막구성적기민전감기진렬,병대박막적전학성능급기민성능진행료표정.결과표명,불동인석비조성적양화인석박막불단재류자농도불동,이차도전류형야불동,즉진렬중매개전감기박막적재류자농도화도전류형시불동적.당기체분자여진렬중적전감기표면접촉시,유우재류자충류、재류자농도、비미능급등적불동,도치전하전이정황야불동,사득진렬구유흔호적선택성.통과대갑철、분、갑분、이갑분적측시,증명차진렬대사충실내오염기체구유교호적선택성.