大学物理实验
大學物理實驗
대학물리실험
PHYSICAL EXPERIMENT OF COLLEGE
2004年
2期
25-27
,共3页
溅射镀膜%辉光放电%多层薄膜
濺射鍍膜%輝光放電%多層薄膜
천사도막%휘광방전%다층박막
介绍一台改制的直流以磁控溅射镀膜机用于溅射镀膜实验,选择实验条件,观察实验现象,得到多层薄膜.
介紹一檯改製的直流以磁控濺射鍍膜機用于濺射鍍膜實驗,選擇實驗條件,觀察實驗現象,得到多層薄膜.
개소일태개제적직류이자공천사도막궤용우천사도막실험,선택실험조건,관찰실험현상,득도다층박막.
