真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2004年
6期
472-474,480
,共4页
滕林%杨邦朝%杜晓松%周鸿仁
滕林%楊邦朝%杜曉鬆%週鴻仁
등림%양방조%두효송%주홍인
镱薄膜%磁控溅射%压阻系数%热处理
鐿薄膜%磁控濺射%壓阻繫數%熱處理
의박막%자공천사%압조계수%열처리
使用直流磁控溅射的方法在聚酰亚胺上制备镱薄膜,XRD分析薄膜的晶体结构,SEM表征薄膜的形貌,利用一级轻气炮进行了1.5 GPa～2.5 GPa的冲击加载压阻测试.研究结果表明,压阻系数依赖于薄膜的晶粒尺寸,经300℃热处理1 h,镱薄膜晶粒长大,薄膜结构更为致密,膜内缺陷减少,压阻系数有明显提高.
使用直流磁控濺射的方法在聚酰亞胺上製備鐿薄膜,XRD分析薄膜的晶體結構,SEM錶徵薄膜的形貌,利用一級輕氣砲進行瞭1.5 GPa～2.5 GPa的遲擊加載壓阻測試.研究結果錶明,壓阻繫數依賴于薄膜的晶粒呎吋,經300℃熱處理1 h,鐿薄膜晶粒長大,薄膜結構更為緻密,膜內缺陷減少,壓阻繫數有明顯提高.
사용직류자공천사적방법재취선아알상제비의박막,XRD분석박막적정체결구,SEM표정박막적형모,이용일급경기포진행료1.5 GPa～2.5 GPa적충격가재압조측시.연구결과표명,압조계수의뢰우박막적정립척촌,경300℃열처리1 h,의박막정립장대,박막결구경위치밀,막내결함감소,압조계수유명현제고.
