固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2005年
1期
138-141
,共4页
李斌%李观启%黄美浅%刘玉荣%陈平
李斌%李觀啟%黃美淺%劉玉榮%陳平
리빈%리관계%황미천%류옥영%진평
钛酸镧钡薄膜%湿敏%光敏
鈦痠鑭鋇薄膜%濕敏%光敏
태산란패박막%습민%광민
对三种二氧化硅层厚度(10 nm、25 nm、40 nm)的器件进行测试,研究二氧化硅层的厚度对Ba1-xLaxTiO3多功能传感器敏感特性的影响.结果表明,对于MIS电容传感器,氧化层越薄,湿敏灵敏度越高,湿滞越小;相反,对于薄膜电阻传感器,氧化层越厚,光敏灵敏度越高.总之,选择一个合适的氧化层厚度,器件可以同时具有较高的湿敏、光敏灵敏度.
對三種二氧化硅層厚度(10 nm、25 nm、40 nm)的器件進行測試,研究二氧化硅層的厚度對Ba1-xLaxTiO3多功能傳感器敏感特性的影響.結果錶明,對于MIS電容傳感器,氧化層越薄,濕敏靈敏度越高,濕滯越小;相反,對于薄膜電阻傳感器,氧化層越厚,光敏靈敏度越高.總之,選擇一箇閤適的氧化層厚度,器件可以同時具有較高的濕敏、光敏靈敏度.
대삼충이양화규층후도(10 nm、25 nm、40 nm)적기건진행측시,연구이양화규층적후도대Ba1-xLaxTiO3다공능전감기민감특성적영향.결과표명,대우MIS전용전감기,양화층월박,습민령민도월고,습체월소;상반,대우박막전조전감기,양화층월후,광민령민도월고.총지,선택일개합괄적양화층후도,기건가이동시구유교고적습민、광민령민도.
