真空
真空
진공
VACUUM
2005年
4期
49-51
,共3页
黄长杰%王旭迪%汪力%胡焕林
黃長傑%王旭迪%汪力%鬍煥林
황장걸%왕욱적%왕력%호환림
石英%BK7玻璃%反应刻蚀%刻蚀速率%图形转移%表面质量
石英%BK7玻璃%反應刻蝕%刻蝕速率%圖形轉移%錶麵質量
석영%BK7파리%반응각식%각식속솔%도형전이%표면질량
用CF4/CHF3作为工作气体对石英和BK7玻璃进行了研究,分析了气体组分、气体流量和射频偏压等几种因素对刻蚀速率的影响,结果表明刻蚀速率与射频偏压的均方根成正比.在1 CF4∶1CHF3的等离子体中由于与光刻胶良好的刻蚀选择比,在石英基片上获得了侧壁陡直的槽形.用光学表面轮廓仪观测的结果表明偏压的增加和过高的气体流量易使基片表面质量下降.
用CF4/CHF3作為工作氣體對石英和BK7玻璃進行瞭研究,分析瞭氣體組分、氣體流量和射頻偏壓等幾種因素對刻蝕速率的影響,結果錶明刻蝕速率與射頻偏壓的均方根成正比.在1 CF4∶1CHF3的等離子體中由于與光刻膠良好的刻蝕選擇比,在石英基片上穫得瞭側壁陡直的槽形.用光學錶麵輪廓儀觀測的結果錶明偏壓的增加和過高的氣體流量易使基片錶麵質量下降.
용CF4/CHF3작위공작기체대석영화BK7파리진행료연구,분석료기체조분、기체류량화사빈편압등궤충인소대각식속솔적영향,결과표명각식속솔여사빈편압적균방근성정비.재1 CF4∶1CHF3적등리자체중유우여광각효량호적각식선택비,재석영기편상획득료측벽두직적조형.용광학표면륜곽의관측적결과표명편압적증가화과고적기체류량역사기편표면질량하강.
