润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2011年
8期
23-26,30
,共5页
杨拉毛草%周晖%郑军%桑瑞鹏%万志华
楊拉毛草%週暉%鄭軍%桑瑞鵬%萬誌華
양랍모초%주휘%정군%상서붕%만지화
非平衡磁控溅射%金刚石碳膜%力学性能%摩擦学性能
非平衡磁控濺射%金剛石碳膜%力學性能%摩抆學性能
비평형자공천사%금강석탄막%역학성능%마찰학성능
利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅片及9Cr18基体表面制备不同偏压下的掺钨含氢类金刚石碳膜.采用Raman光谱分析薄膜结构,采用纳米硬度测试仪和纳米划痕仪研究薄膜的纳米硬度、弹性模量和膜基附着力,在球-盘摩擦试验机上测试薄膜在大气环境中的摩擦学性能,研究薄膜的摩擦学性能与偏压的关系.结果表明:制备的薄膜样品均具有典型的类金刚石碳膜结构；基体偏压强烈影响薄膜的力学和摩擦学性能,薄膜硬度和弹性模量在0～150 V范围内随着偏压增加而增大,薄膜的摩擦因数在偏压为100 V时最小,在此参数下的耐磨寿命也最长.
利用非平衡磁控濺射技術在單晶硅片及9Cr18基體錶麵製備不同偏壓下的摻鎢含氫類金剛石碳膜.採用Raman光譜分析薄膜結構,採用納米硬度測試儀和納米劃痕儀研究薄膜的納米硬度、彈性模量和膜基附著力,在毬-盤摩抆試驗機上測試薄膜在大氣環境中的摩抆學性能,研究薄膜的摩抆學性能與偏壓的關繫.結果錶明:製備的薄膜樣品均具有典型的類金剛石碳膜結構；基體偏壓彊烈影響薄膜的力學和摩抆學性能,薄膜硬度和彈性模量在0～150 V範圍內隨著偏壓增加而增大,薄膜的摩抆因數在偏壓為100 V時最小,在此參數下的耐磨壽命也最長.
이용비평형자공천사기술재단정규편급9Cr18기체표면제비불동편압하적참오함경류금강석탄막.채용Raman광보분석박막결구,채용납미경도측시의화납미화흔의연구박막적납미경도、탄성모량화막기부착력,재구-반마찰시험궤상측시박막재대기배경중적마찰학성능,연구박막적마찰학성능여편압적관계.결과표명:제비적박막양품균구유전형적류금강석탄막결구；기체편압강렬영향박막적역학화마찰학성능,박막경도화탄성모량재0～150 V범위내수착편압증가이증대,박막적마찰인수재편압위100 V시최소,재차삼수하적내마수명야최장.
