激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2012年
7期
778-780
,共3页
李春领%何铁生%侯晓敏%秦艳红%王春红
李春領%何鐵生%侯曉敏%秦豔紅%王春紅
리춘령%하철생%후효민%진염홍%왕춘홍
碲镉汞%表面平坦化%红外焦平面
碲鎘汞%錶麵平坦化%紅外焦平麵
제력홍%표면평탄화%홍외초평면
研究了一种去除碲镉汞液相外延(LPE)薄膜材料表面波纹的方法.器件结果显示,利用该方法可以有效去除碲镉汞薄膜材料表面的波纹,获得较好的平坦化表面,提高了大面积红外焦平面器件芯片工艺和互连效果.
研究瞭一種去除碲鎘汞液相外延(LPE)薄膜材料錶麵波紋的方法.器件結果顯示,利用該方法可以有效去除碲鎘汞薄膜材料錶麵的波紋,穫得較好的平坦化錶麵,提高瞭大麵積紅外焦平麵器件芯片工藝和互連效果.
연구료일충거제제력홍액상외연(LPE)박막재료표면파문적방법.기건결과현시,이용해방법가이유효거제제력홍박막재료표면적파문,획득교호적평탄화표면,제고료대면적홍외초평면기건심편공예화호련효과.
