山东师大学报(自然科学版)
山東師大學報(自然科學版)
산동사대학보(자연과학판)
JOURNAL OF SHANDONG NORMAL UNIVERSITY
2001年
4期
382-384
,共3页
安霞%庄惠照%李怀祥%杨利%修显武%薛成山
安霞%莊惠照%李懷祥%楊利%脩顯武%薛成山
안하%장혜조%리부상%양리%수현무%설성산
磁控溅射%纳米材料%碳化硅%薄膜%光致发光
磁控濺射%納米材料%碳化硅%薄膜%光緻髮光
자공천사%납미재료%탄화규%박막%광치발광
用射频磁控溅射法在硅衬底上生长出纳米颗粒结构的碳化硅薄膜.在N2气氛下经3 h 1 100℃退火,用 X射线衍射(XRD)、付里叶红外吸收谱(F¨R)、X光电子能谱(XPS)、原予力显微镜(AFM)对薄膜样品进行结构、颗粒大小、组分和形貌分析,并在室温条件下观察薄膜的光致发光现象。
用射頻磁控濺射法在硅襯底上生長齣納米顆粒結構的碳化硅薄膜.在N2氣氛下經3 h 1 100℃退火,用 X射線衍射(XRD)、付裏葉紅外吸收譜(F¨R)、X光電子能譜(XPS)、原予力顯微鏡(AFM)對薄膜樣品進行結構、顆粒大小、組分和形貌分析,併在室溫條件下觀察薄膜的光緻髮光現象。
용사빈자공천사법재규츤저상생장출납미과립결구적탄화규박막.재N2기분하경3 h 1 100℃퇴화,용 X사선연사(XRD)、부리협홍외흡수보(F¨R)、X광전자능보(XPS)、원여력현미경(AFM)대박막양품진행결구、과립대소、조분화형모분석,병재실온조건하관찰박막적광치발광현상。
