物理学报
物理學報
물이학보
2003年
4期
1028-1033
,共6页
方志军%夏义本%王林军%张伟丽%马哲国%张明龙
方誌軍%夏義本%王林軍%張偉麗%馬哲國%張明龍
방지군%하의본%왕림군%장위려%마철국%장명룡
金刚石薄膜%应力%离子注入%Al2O3陶瓷
金剛石薄膜%應力%離子註入%Al2O3陶瓷
금강석박막%응력%리자주입%Al2O3도자
通过对Al2O3陶瓷衬底进行碳离子预注入,大大降低了Al2O3陶瓷衬底上金刚石薄膜的应力,且金刚石薄膜中的压应力随碳离子注入剂量的增加而线性下降.通过对Al2O3陶瓷衬底注入前后的对比分析表明,高能量的碳离子注入Al2O3陶瓷衬底以后,并没有产生过渡层性质的新相,而是大量累积在Al2O3晶格的间隙位,使Al2O3晶格发生畸变.而且,随着碳离子注入剂量的增加,Al2O3基体内晶格畸变加剧,注入层残余压应力也随之上升.当金刚石薄膜沉积以后,在降温的过程中衬底这部分残余应力得到释放,从而部分弛豫了金刚石薄膜中的压应力.
通過對Al2O3陶瓷襯底進行碳離子預註入,大大降低瞭Al2O3陶瓷襯底上金剛石薄膜的應力,且金剛石薄膜中的壓應力隨碳離子註入劑量的增加而線性下降.通過對Al2O3陶瓷襯底註入前後的對比分析錶明,高能量的碳離子註入Al2O3陶瓷襯底以後,併沒有產生過渡層性質的新相,而是大量纍積在Al2O3晶格的間隙位,使Al2O3晶格髮生畸變.而且,隨著碳離子註入劑量的增加,Al2O3基體內晶格畸變加劇,註入層殘餘壓應力也隨之上升.噹金剛石薄膜沉積以後,在降溫的過程中襯底這部分殘餘應力得到釋放,從而部分弛豫瞭金剛石薄膜中的壓應力.
통과대Al2O3도자츤저진행탄리자예주입,대대강저료Al2O3도자츤저상금강석박막적응력,차금강석박막중적압응력수탄리자주입제량적증가이선성하강.통과대Al2O3도자츤저주입전후적대비분석표명,고능량적탄리자주입Al2O3도자츤저이후,병몰유산생과도층성질적신상,이시대량루적재Al2O3정격적간극위,사Al2O3정격발생기변.이차,수착탄리자주입제량적증가,Al2O3기체내정격기변가극,주입층잔여압응력야수지상승.당금강석박막침적이후,재강온적과정중츤저저부분잔여응력득도석방,종이부분이예료금강석박막중적압응력.
