压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2004年
3期
234-236
,共3页
匡登峰%刘庆纲%郭维廉%张世林%胡小唐
劻登峰%劉慶綱%郭維廉%張世林%鬍小唐
광등봉%류경강%곽유렴%장세림%호소당
AFM针尖诱导阳极氧化%Ti氧化线%大气湿度
AFM針尖誘導暘極氧化%Ti氧化線%大氣濕度
AFM침첨유도양겁양화%Ti양화선%대기습도
AFM针尖诱导氧化加工的Ti纳米氧化线,是基于Ti膜-半导体纳米器件的基础,由大气湿度决定的Ti膜表面水吸附层的厚度,对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用.通过大量实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响,结果表明进行氧化加工Ti膜的较好湿度范围为30％～50％.
AFM針尖誘導氧化加工的Ti納米氧化線,是基于Ti膜-半導體納米器件的基礎,由大氣濕度決定的Ti膜錶麵水吸附層的厚度,對控製暘極誘導氧化加工的結果起重要作用.通過大量實驗研究瞭大氣濕度對Ti氧化線高度、寬度和縱橫比的影響,結果錶明進行氧化加工Ti膜的較好濕度範圍為30％～50％.
AFM침첨유도양화가공적Ti납미양화선,시기우Ti막-반도체납미기건적기출,유대기습도결정적Ti막표면수흡부층적후도,대공제양겁유도양화가공적결과기중요작용.통과대량실험연구료대기습도대Ti양화선고도、관도화종횡비적영향,결과표명진행양화가공Ti막적교호습도범위위30％～50％.
