清华大学学报(自然科学版)
清華大學學報(自然科學版)
청화대학학보(자연과학판)
Journal of Tsinghua University
2004年
8期
1096-1099
,共4页
方玲%张弓%庄大明%赵明%郑麒麟%丁晓峰%吴敏生
方玲%張弓%莊大明%趙明%鄭麒麟%丁曉峰%吳敏生
방령%장궁%장대명%조명%정기린%정효봉%오민생
CuInSe2薄膜%Cu-In薄膜%太阳能电池%固态硒化%磁控溅射
CuInSe2薄膜%Cu-In薄膜%太暘能電池%固態硒化%磁控濺射
CuInSe2박막%Cu-In박막%태양능전지%고태서화%자공천사
为考察溅射功率对Cu-In薄膜中相结构以及相应的CuInSe2(简称CIS)薄膜性能的影响,采用中频交流磁控溅射方法沉积Cu-In薄膜,并采用固态硒化方法形成CIS薄膜.采用SEM和EDX观察和分析了它们的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构,并分析了硒化中的反应动力学过程.结果表明,在不同的溅射功率条件下,Cu-In预制膜以Cu11In9相或Cu11In9和CuIn的混合相存在.由Cu11In9和CuIn混合相薄膜形成的CIS薄膜具有单一的CuInSe2相黄铜矿相结构,且其成分接近CuInSe2化学计量比.而由Cut1In9相Cu-In预制膜形成的CIS薄膜中除了CuInSe2相以外,还出现了Cu2Se相,且其成分远离CuInSe2化学计量比.因此,具有Cu11In9和CuIn混合相结构的CuIn薄膜更适合制备CIS太阳电池吸收层.
為攷察濺射功率對Cu-In薄膜中相結構以及相應的CuInSe2(簡稱CIS)薄膜性能的影響,採用中頻交流磁控濺射方法沉積Cu-In薄膜,併採用固態硒化方法形成CIS薄膜.採用SEM和EDX觀察和分析瞭它們的錶麵形貌和成分,採用XRD錶徵瞭薄膜的組織結構,併分析瞭硒化中的反應動力學過程.結果錶明,在不同的濺射功率條件下,Cu-In預製膜以Cu11In9相或Cu11In9和CuIn的混閤相存在.由Cu11In9和CuIn混閤相薄膜形成的CIS薄膜具有單一的CuInSe2相黃銅礦相結構,且其成分接近CuInSe2化學計量比.而由Cut1In9相Cu-In預製膜形成的CIS薄膜中除瞭CuInSe2相以外,還齣現瞭Cu2Se相,且其成分遠離CuInSe2化學計量比.因此,具有Cu11In9和CuIn混閤相結構的CuIn薄膜更適閤製備CIS太暘電池吸收層.
위고찰천사공솔대Cu-In박막중상결구이급상응적CuInSe2(간칭CIS)박막성능적영향,채용중빈교류자공천사방법침적Cu-In박막,병채용고태서화방법형성CIS박막.채용SEM화EDX관찰화분석료타문적표면형모화성분,채용XRD표정료박막적조직결구,병분석료서화중적반응동역학과정.결과표명,재불동적천사공솔조건하,Cu-In예제막이Cu11In9상혹Cu11In9화CuIn적혼합상존재.유Cu11In9화CuIn혼합상박막형성적CIS박막구유단일적CuInSe2상황동광상결구,차기성분접근CuInSe2화학계량비.이유Cut1In9상Cu-In예제막형성적CIS박막중제료CuInSe2상이외,환출현료Cu2Se상,차기성분원리CuInSe2화학계량비.인차,구유Cu11In9화CuIn혼합상결구적CuIn박막경괄합제비CIS태양전지흡수층.
