物理学报
物理學報
물이학보
2006年
6期
3013-3017
,共5页
延凤平%简水生%尾形健一%小池一步%佐佐诚彦%井上正崇%矢野满明
延鳳平%簡水生%尾形健一%小池一步%佐佐誠彥%井上正崇%矢野滿明
연봉평%간수생%미형건일%소지일보%좌좌성언%정상정숭%시야만명
ZnMgO薄膜%Mg组分%分子束外延(MBE)%电感耦合等离子体(ICP)
ZnMgO薄膜%Mg組分%分子束外延(MBE)%電感耦閤等離子體(ICP)
ZnMgO박막%Mg조분%분자속외연(MBE)%전감우합등리자체(ICP)
利用电感耦合等离子体(ICP)装置对分子束外延(MBE)法在Sapphire衬底上生长的Zn1xMgxO薄膜的Mg组分进行了测试.经理论分析,得到使用1次和2次检量式所确定的Zn1-xMgxO薄膜中的Mg组分的差异.将采用1次检量式的ICP测定与EPMA测定结果进行对照,表明当Mg组分x≤0.5时二者的测试结果相当一致,由此证明ICP测试结果的正确性.
利用電感耦閤等離子體(ICP)裝置對分子束外延(MBE)法在Sapphire襯底上生長的Zn1xMgxO薄膜的Mg組分進行瞭測試.經理論分析,得到使用1次和2次檢量式所確定的Zn1-xMgxO薄膜中的Mg組分的差異.將採用1次檢量式的ICP測定與EPMA測定結果進行對照,錶明噹Mg組分x≤0.5時二者的測試結果相噹一緻,由此證明ICP測試結果的正確性.
이용전감우합등리자체(ICP)장치대분자속외연(MBE)법재Sapphire츤저상생장적Zn1xMgxO박막적Mg조분진행료측시.경이론분석,득도사용1차화2차검량식소학정적Zn1-xMgxO박막중적Mg조분적차이.장채용1차검량식적ICP측정여EPMA측정결과진행대조,표명당Mg조분x≤0.5시이자적측시결과상당일치,유차증명ICP측시결과적정학성.
