南昌大学学报（工科版）
南昌大學學報（工科版）
남창대학학보（공과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY ENGINEERING & TECHNOLOGY EDITION
2007年
1期
9-11,15
,共4页
郭纪林%刘莹%蔡升勇%李小兵%余桂英
郭紀林%劉瑩%蔡升勇%李小兵%餘桂英
곽기림%류형%채승용%리소병%여계영
表面形貌%准分子激光加工%研磨加工%Al2O3陶瓷
錶麵形貌%準分子激光加工%研磨加工%Al2O3陶瓷
표면형모%준분자격광가공%연마가공%Al2O3도자
采用了准分子激光和研磨两种不同的加工方法,在微构件常用的Al2O3陶瓷材料表面构建表面微观形貌.通过表面轮廓仪测量加工试件表面形貌,采用自行研制的表面形貌参数表征系统进行表面形貌统计参数计算.分析不同加工方法对同一种材料表面形貌的影响,采用表面形貌统计参数中的轮廓高度算术平均值Ra、轮廓高度均方根值Rq、坡度均方根值Zq对表面形貌进行评价.结果表明,准分子激光加工表面的Ra、Rq和Zq值均比研磨加工表面小.分析可得,准分子激光加工与传统研磨加工方法相比,能够获得较高要求的表面形貌,为微机械的设计提供重要参考依据.
採用瞭準分子激光和研磨兩種不同的加工方法,在微構件常用的Al2O3陶瓷材料錶麵構建錶麵微觀形貌.通過錶麵輪廓儀測量加工試件錶麵形貌,採用自行研製的錶麵形貌參數錶徵繫統進行錶麵形貌統計參數計算.分析不同加工方法對同一種材料錶麵形貌的影響,採用錶麵形貌統計參數中的輪廓高度算術平均值Ra、輪廓高度均方根值Rq、坡度均方根值Zq對錶麵形貌進行評價.結果錶明,準分子激光加工錶麵的Ra、Rq和Zq值均比研磨加工錶麵小.分析可得,準分子激光加工與傳統研磨加工方法相比,能夠穫得較高要求的錶麵形貌,為微機械的設計提供重要參攷依據.
채용료준분자격광화연마량충불동적가공방법,재미구건상용적Al2O3도자재료표면구건표면미관형모.통과표면륜곽의측량가공시건표면형모,채용자행연제적표면형모삼수표정계통진행표면형모통계삼수계산.분석불동가공방법대동일충재료표면형모적영향,채용표면형모통계삼수중적륜곽고도산술평균치Ra、륜곽고도균방근치Rq、파도균방근치Zq대표면형모진행평개.결과표명,준분자격광가공표면적Ra、Rq화Zq치균비연마가공표면소.분석가득,준분자격광가공여전통연마가공방법상비,능구획득교고요구적표면형모,위미궤계적설계제공중요삼고의거.
