西安工业大学学报
西安工業大學學報
서안공업대학학보
JOURNAL OF XI'AN TECHNOLOGICAL UNIVERSITY
2007年
5期
416-420
,共5页
脉冲电弧%应力%类金刚石(DLC)薄膜%X射线衍射法
脈遲電弧%應力%類金剛石(DLC)薄膜%X射線衍射法
맥충전호%응력%류금강석(DLC)박막%X사선연사법
为了沉积出高硬度、低应力、高膜-基结合强度的类金刚石硬质薄膜,利用脉冲电弧离子镀技术在高速钢基底上制备类金刚石薄膜,采用退火、增加Ti过渡层、Ti离子轰击等方法减小DLC薄膜应力.结果表明:单层DLC薄膜的应力可达7.742 GPa;以Ti为过渡层的DLC薄膜的应力减小为2.027 GPa;对Ti/DLC薄膜进行退火热处理,薄膜应力减小到0.359GPa.利用Ti作过渡层,并且对薄膜进行退火处理,可以使DLC薄膜产生的高应力在Ti层中得到明显减小,提高膜-基结合力,增加硬度.
為瞭沉積齣高硬度、低應力、高膜-基結閤彊度的類金剛石硬質薄膜,利用脈遲電弧離子鍍技術在高速鋼基底上製備類金剛石薄膜,採用退火、增加Ti過渡層、Ti離子轟擊等方法減小DLC薄膜應力.結果錶明:單層DLC薄膜的應力可達7.742 GPa;以Ti為過渡層的DLC薄膜的應力減小為2.027 GPa;對Ti/DLC薄膜進行退火熱處理,薄膜應力減小到0.359GPa.利用Ti作過渡層,併且對薄膜進行退火處理,可以使DLC薄膜產生的高應力在Ti層中得到明顯減小,提高膜-基結閤力,增加硬度.
위료침적출고경도、저응력、고막-기결합강도적류금강석경질박막,이용맥충전호리자도기술재고속강기저상제비류금강석박막,채용퇴화、증가Ti과도층、Ti리자굉격등방법감소DLC박막응력.결과표명:단층DLC박막적응력가체7.742 GPa;이Ti위과도층적DLC박막적응력감소위2.027 GPa;대Ti/DLC박막진행퇴화열처리,박막응력감소도0.359GPa.이용Ti작과도층,병차대박막진행퇴화처리,가이사DLC박막산생적고응력재Ti층중득도명현감소,제고막-기결합력,증가경도.
