微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2008年
10期
597-600
,共4页
高振宁%陈德勇%王军波%毋正伟
高振寧%陳德勇%王軍波%毌正偉
고진저%진덕용%왕군파%무정위
微机电系统%谐振式压力传感器%电磁激励电磁拾振%差分检测%体硅微加工工艺
微機電繫統%諧振式壓力傳感器%電磁激勵電磁拾振%差分檢測%體硅微加工工藝
미궤전계통%해진식압력전감기%전자격려전자습진%차분검측%체규미가공공예
利用微电子机械加工技术成功研制出电磁激励一电磁拾振硅谐振梁式压力传感器.传感器以"H"型双端固支梁为谐振器,采用差分检测结构.工艺制作采用体硅加工工艺,并且采用一种减小封装应力的结构完成压力传感器的真空密封及封装.利用锁相环微弱信号检测技术建立的开环频率特性测试系统及闭环自激测试系统测试了传感器的频率、压力特性等相关技术指标.谐振器在空气中的品质因素Q值大于1 200;在真空中的Q值大于7 000.压力满量程刻度为0～120 kPa.差分输出的结果优于单个谐振梁的输出结果,差分输出结果的线性相关系数为0.999 9,灵敏度为225.77 Hz/kPa.
利用微電子機械加工技術成功研製齣電磁激勵一電磁拾振硅諧振樑式壓力傳感器.傳感器以"H"型雙耑固支樑為諧振器,採用差分檢測結構.工藝製作採用體硅加工工藝,併且採用一種減小封裝應力的結構完成壓力傳感器的真空密封及封裝.利用鎖相環微弱信號檢測技術建立的開環頻率特性測試繫統及閉環自激測試繫統測試瞭傳感器的頻率、壓力特性等相關技術指標.諧振器在空氣中的品質因素Q值大于1 200;在真空中的Q值大于7 000.壓力滿量程刻度為0～120 kPa.差分輸齣的結果優于單箇諧振樑的輸齣結果,差分輸齣結果的線性相關繫數為0.999 9,靈敏度為225.77 Hz/kPa.
이용미전자궤계가공기술성공연제출전자격려일전자습진규해진량식압력전감기.전감기이"H"형쌍단고지량위해진기,채용차분검측결구.공예제작채용체규가공공예,병차채용일충감소봉장응력적결구완성압력전감기적진공밀봉급봉장.이용쇄상배미약신호검측기술건립적개배빈솔특성측시계통급폐배자격측시계통측시료전감기적빈솔、압력특성등상관기술지표.해진기재공기중적품질인소Q치대우1 200;재진공중적Q치대우7 000.압력만량정각도위0～120 kPa.차분수출적결과우우단개해진량적수출결과,차분수출결과적선성상관계수위0.999 9,령민도위225.77 Hz/kPa.
