激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2009年
8期
840-843
,共4页
曾焱%艾克拜尔江·克然木
曾焱%艾剋拜爾江·剋然木
증염%애극배이강·극연목
表面粗糙度%轮廓均方根斜率%非傍轴散射%散射辐射立体角分布%散射辐射分布矩
錶麵粗糙度%輪廓均方根斜率%非傍軸散射%散射輻射立體角分佈%散射輻射分佈矩
표면조조도%륜곽균방근사솔%비방축산사%산사복사입체각분포%산사복사분포구
为了利用激光散射分布测量表面粗糙度参数,从分析高斯粗糙表面非傍轴散射光能量的角分布特征与轮廓均方根斜率之间的关系,得到了利用散射角分布进行粗糙表面横向粗糙度参数的测量方法.提出了散射光的两个特征值:辐射立体角密度矩M(θ)和M(φ),用以表征散射光能量立体角分布情况,并给出了在非傍轴远场条件下的测量和计算方法.实验证明,给出的特征参数能够得到散射光能量立体角分布特征并可用于测量粗糙表面横向形貌参数.
為瞭利用激光散射分佈測量錶麵粗糙度參數,從分析高斯粗糙錶麵非傍軸散射光能量的角分佈特徵與輪廓均方根斜率之間的關繫,得到瞭利用散射角分佈進行粗糙錶麵橫嚮粗糙度參數的測量方法.提齣瞭散射光的兩箇特徵值:輻射立體角密度矩M(θ)和M(φ),用以錶徵散射光能量立體角分佈情況,併給齣瞭在非傍軸遠場條件下的測量和計算方法.實驗證明,給齣的特徵參數能夠得到散射光能量立體角分佈特徵併可用于測量粗糙錶麵橫嚮形貌參數.
위료이용격광산사분포측량표면조조도삼수,종분석고사조조표면비방축산사광능량적각분포특정여륜곽균방근사솔지간적관계,득도료이용산사각분포진행조조표면횡향조조도삼수적측량방법.제출료산사광적량개특정치:복사입체각밀도구M(θ)화M(φ),용이표정산사광능량입체각분포정황,병급출료재비방축원장조건하적측량화계산방법.실험증명,급출적특정삼수능구득도산사광능량입체각분포특정병가용우측량조조표면횡향형모삼수.
