真空
真空
진공
VACUUM
2010年
3期
16-19
,共4页
孟秀清%王双%尚航%池华敬%陈革%章其初
孟秀清%王雙%尚航%池華敬%陳革%章其初
맹수청%왕쌍%상항%지화경%진혁%장기초
旋转圆柱靶%孪生靶%溅射产额分布%磁控溅射%溅射气压
鏇轉圓柱靶%孿生靶%濺射產額分佈%磁控濺射%濺射氣壓
선전원주파%련생파%천사산액분포%자공천사%천사기압
采用数值计算模型,计算了旋转圆柱靶溅射产额分布.数值计算中假设从靶溅射出来的粒子服从余弦函数定律.计算得到的单靶溅射产额分布和Al靶在Ar气压0.4Pa测量得到的实验值基本相同.同时计算了孪生旋转圆柱靶的溅射产额分别与靶基距、靶间距,以及靶旋转角度的相关性.
採用數值計算模型,計算瞭鏇轉圓柱靶濺射產額分佈.數值計算中假設從靶濺射齣來的粒子服從餘絃函數定律.計算得到的單靶濺射產額分佈和Al靶在Ar氣壓0.4Pa測量得到的實驗值基本相同.同時計算瞭孿生鏇轉圓柱靶的濺射產額分彆與靶基距、靶間距,以及靶鏇轉角度的相關性.
채용수치계산모형,계산료선전원주파천사산액분포.수치계산중가설종파천사출래적입자복종여현함수정률.계산득도적단파천사산액분포화Al파재Ar기압0.4Pa측량득도적실험치기본상동.동시계산료련생선전원주파적천사산액분별여파기거、파간거,이급파선전각도적상관성.
