新技术新工艺
新技術新工藝
신기술신공예
NEW TECHNOLOGY & NEW PROCESS
2010年
7期
62-65
,共4页
姚蔚峰%邓乾发%胡永亮%范红伟%刘盾%袁巨龙
姚蔚峰%鄧乾髮%鬍永亮%範紅偉%劉盾%袁巨龍
요위봉%산건발%호영량%범홍위%류순%원거룡
化学机械抛光%抛光垫%沟槽形状
化學機械拋光%拋光墊%溝槽形狀
화학궤계포광%포광점%구조형상
在化学机械抛光过程中,沟槽形状是抛光垫性能的重要影响因素之一,它会直接影响抛光效果.本文介绍了化学机械抛光垫上沟槽的基本形状及其对抛光效果的影响,以及不同复合形状的抛光垫沟槽及其对抛光效果的影响,并就研究中现存的主要问题提出展望.
在化學機械拋光過程中,溝槽形狀是拋光墊性能的重要影響因素之一,它會直接影響拋光效果.本文介紹瞭化學機械拋光墊上溝槽的基本形狀及其對拋光效果的影響,以及不同複閤形狀的拋光墊溝槽及其對拋光效果的影響,併就研究中現存的主要問題提齣展望.
재화학궤계포광과정중,구조형상시포광점성능적중요영향인소지일,타회직접영향포광효과.본문개소료화학궤계포광점상구조적기본형상급기대포광효과적영향,이급불동복합형상적포광점구조급기대포광효과적영향,병취연구중현존적주요문제제출전망.
