纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2011年
5期
440-445
,共6页
孔祥东%韩立%初明璋%薛虹
孔祥東%韓立%初明璋%薛虹
공상동%한립%초명장%설홍
电子束%微区加热%吸收能量密度%剂量%表面改性
電子束%微區加熱%吸收能量密度%劑量%錶麵改性
전자속%미구가열%흡수능량밀도%제량%표면개성
提出了基于电子束曝光的微区加热技术.在研究样品吸收能量密度的基础上,在FEI820 Dual Beam FIB/SEM系统上对30 keV电子来曝光Pb、Bi、Sn、Al金属薄膜以及15 keY电子束曝光S1805正性抗蚀剂微结构时的微区加热效应进行了实验研究.结果表明,在一定的曝光剂量下样品表面出现了熔化现象,证明采用电子束曝光可以使某些材料微小区域表面达到相变温度或熔点以上,为使用电子束曝光技术完成某些材料的微纳区域表面热处理以及制备具有光滑曲面的微结构提供了新途径.
提齣瞭基于電子束曝光的微區加熱技術.在研究樣品吸收能量密度的基礎上,在FEI820 Dual Beam FIB/SEM繫統上對30 keV電子來曝光Pb、Bi、Sn、Al金屬薄膜以及15 keY電子束曝光S1805正性抗蝕劑微結構時的微區加熱效應進行瞭實驗研究.結果錶明,在一定的曝光劑量下樣品錶麵齣現瞭鎔化現象,證明採用電子束曝光可以使某些材料微小區域錶麵達到相變溫度或鎔點以上,為使用電子束曝光技術完成某些材料的微納區域錶麵熱處理以及製備具有光滑麯麵的微結構提供瞭新途徑.
제출료기우전자속폭광적미구가열기술.재연구양품흡수능량밀도적기출상,재FEI820 Dual Beam FIB/SEM계통상대30 keV전자래폭광Pb、Bi、Sn、Al금속박막이급15 keY전자속폭광S1805정성항식제미결구시적미구가열효응진행료실험연구.결과표명,재일정적폭광제량하양품표면출현료용화현상,증명채용전자속폭광가이사모사재료미소구역표면체도상변온도혹용점이상,위사용전자속폭광기술완성모사재료적미납구역표면열처리이급제비구유광활곡면적미결구제공료신도경.
