影像科学与光化学
影像科學與光化學
영상과학여광화학
IMAGING SCIENCE AND PHOTOCHEMISTRY
2012年
2期
91-101
,共11页
王东%刘红缨%贺军辉%刘林林
王東%劉紅纓%賀軍輝%劉林林
왕동%류홍영%하군휘%류림림
旋涂法%功能薄膜%厚度控制
鏇塗法%功能薄膜%厚度控製
선도법%공능박막%후도공제
作为众多的薄膜制备方法之一,旋涂法具备薄膜厚度精确可控、高性价比、节能、低污染等优势,在微电子技术、纳米光子学、生物学、医学等领域中有着广阔的应用前景.本文简单介绍了旋涂法的模型、机理及其主要参数的估算方法,并总结了近几年来用旋涂法制备光学、微电子学等功能薄膜的新进展,最后对旋涂法的发展前景进行了展望.
作為衆多的薄膜製備方法之一,鏇塗法具備薄膜厚度精確可控、高性價比、節能、低汙染等優勢,在微電子技術、納米光子學、生物學、醫學等領域中有著廣闊的應用前景.本文簡單介紹瞭鏇塗法的模型、機理及其主要參數的估算方法,併總結瞭近幾年來用鏇塗法製備光學、微電子學等功能薄膜的新進展,最後對鏇塗法的髮展前景進行瞭展望.
작위음다적박막제비방법지일,선도법구비박막후도정학가공、고성개비、절능、저오염등우세,재미전자기술、납미광자학、생물학、의학등영역중유착엄활적응용전경.본문간단개소료선도법적모형、궤리급기주요삼수적고산방법,병총결료근궤년래용선도법제비광학、미전자학등공능박막적신진전,최후대선도법적발전전경진행료전망.
