兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2012年
9期
1066-1069
,共4页
张学忱%曹国华%聂风明%吴庆堂
張學忱%曹國華%聶風明%吳慶堂
장학침%조국화%섭풍명%오경당
机械制造工艺与设备%光学非球面%微振动%超精密磨削
機械製造工藝與設備%光學非毬麵%微振動%超精密磨削
궤계제조공예여설비%광학비구면%미진동%초정밀마삭
轴对称非球面光学元件超精密磨削加工过程中砂轮的不平衡量和机床主轴引起的微振动直接影响工件成形精度及粗糙度.通过分析磨削过程中产生的微振动现象,建立了砂轮轴和磨床主轴微振动引起的非球面球面半径偏差的数学模型,研制了高精度微振动动态测量装置,测量精度达0.02 μm.针对研制的大口径超精密非球面磨削机床分析测量了砂轮轴转速和磨床主轴转速、砂轮轴和磨床主轴的静压轴承油压对砂轮轴和磨床主轴的径向微振动和轴向微振动的影响,确定了使该磨床砂轮轴和磨床主轴微振动量最小时的砂轮轴转速和静压轴承油压以及磨床主轴转速和静压轴承油压的工艺参数,利用该参数加工的φ500 mm口径的非球面面型精度小于4μm.
軸對稱非毬麵光學元件超精密磨削加工過程中砂輪的不平衡量和機床主軸引起的微振動直接影響工件成形精度及粗糙度.通過分析磨削過程中產生的微振動現象,建立瞭砂輪軸和磨床主軸微振動引起的非毬麵毬麵半徑偏差的數學模型,研製瞭高精度微振動動態測量裝置,測量精度達0.02 μm.針對研製的大口徑超精密非毬麵磨削機床分析測量瞭砂輪軸轉速和磨床主軸轉速、砂輪軸和磨床主軸的靜壓軸承油壓對砂輪軸和磨床主軸的徑嚮微振動和軸嚮微振動的影響,確定瞭使該磨床砂輪軸和磨床主軸微振動量最小時的砂輪軸轉速和靜壓軸承油壓以及磨床主軸轉速和靜壓軸承油壓的工藝參數,利用該參數加工的φ500 mm口徑的非毬麵麵型精度小于4μm.
축대칭비구면광학원건초정밀마삭가공과정중사륜적불평형량화궤상주축인기적미진동직접영향공건성형정도급조조도.통과분석마삭과정중산생적미진동현상,건립료사륜축화마상주축미진동인기적비구면구면반경편차적수학모형,연제료고정도미진동동태측량장치,측량정도체0.02 μm.침대연제적대구경초정밀비구면마삭궤상분석측량료사륜축전속화마상주축전속、사륜축화마상주축적정압축승유압대사륜축화마상주축적경향미진동화축향미진동적영향,학정료사해마상사륜축화마상주축미진동량최소시적사륜축전속화정압축승유압이급마상주축전속화정압축승유압적공예삼수,이용해삼수가공적φ500 mm구경적비구면면형정도소우4μm.
