力学进展
力學進展
역학진전
ADVANGCES IN MECHANICS
2005年
3期
361-376
,共16页
微型流量传感器%MEMS%最新进展
微型流量傳感器%MEMS%最新進展
미형류량전감기%MEMS%최신진전
流量测量是工业生产和科研工作的重要的检测参数.近年来,随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展,同时生命科学的发展大大促进了用于微流体,生物学、医学、卫生、食物等学科研究新型微型流量传感器的研究开发,微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向.本文对基于MEMS技术的流量传感器技术的原理、分类作了简要介绍,归纳和评述了各种基于MEMS技术的流量传感器(热式型,差压型,升力型,流体振动型,科里奥利型及仿生型微型流量传感器等)的生产工艺和应用特点,并对基于MEMS技术的微型流量传感器的校正方法做了总结归纳.介绍了国内在微型流量传感器方面的研制工作.最后总结归纳出基于MEMS技术的流量传感器发展不同阶段并阐述了各个阶段的发展特点,并对基于MEMS技术的流量传感器新的发展趋势进行了展望.
流量測量是工業生產和科研工作的重要的檢測參數.近年來,隨著對微電子機械繫統(MEMS)的深入研究和取得的進展,傳統的工業和流體力學研究的流量傳感器嚮高集成度,微型化,高精度,高可靠性方嚮髮展,同時生命科學的髮展大大促進瞭用于微流體,生物學、醫學、衛生、食物等學科研究新型微型流量傳感器的研究開髮,微型流量傳感器已成為MEMS的重要研究方嚮.本文對基于MEMS技術的流量傳感器技術的原理、分類作瞭簡要介紹,歸納和評述瞭各種基于MEMS技術的流量傳感器(熱式型,差壓型,升力型,流體振動型,科裏奧利型及倣生型微型流量傳感器等)的生產工藝和應用特點,併對基于MEMS技術的微型流量傳感器的校正方法做瞭總結歸納.介紹瞭國內在微型流量傳感器方麵的研製工作.最後總結歸納齣基于MEMS技術的流量傳感器髮展不同階段併闡述瞭各箇階段的髮展特點,併對基于MEMS技術的流量傳感器新的髮展趨勢進行瞭展望.
류량측량시공업생산화과연공작적중요적검측삼수.근년래,수착대미전자궤계계통(MEMS)적심입연구화취득적진전,전통적공업화류체역학연구적류량전감기향고집성도,미형화,고정도,고가고성방향발전,동시생명과학적발전대대촉진료용우미류체,생물학、의학、위생、식물등학과연구신형미형류량전감기적연구개발,미형류량전감기이성위MEMS적중요연구방향.본문대기우MEMS기술적류량전감기기술적원리、분류작료간요개소,귀납화평술료각충기우MEMS기술적류량전감기(열식형,차압형,승력형,류체진동형,과리오리형급방생형미형류량전감기등)적생산공예화응용특점,병대기우MEMS기술적미형류량전감기적교정방법주료총결귀납.개소료국내재미형류량전감기방면적연제공작.최후총결귀납출기우MEMS기술적류량전감기발전불동계단병천술료각개계단적발전특점,병대기우MEMS기술적류량전감기신적발전추세진행료전망.
