半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2005年
6期
1178-1181
,共4页
张红治%胡礼中%孙晓娟%王志俊%梁秀萍
張紅治%鬍禮中%孫曉娟%王誌俊%樑秀萍
장홍치%호례중%손효연%왕지준%량수평
选择液相外延%微探尖%扫描近场光学显微术
選擇液相外延%微探尖%掃描近場光學顯微術
선택액상외연%미탐첨%소묘근장광학현미술
使用GaAs(001)衬底模拟垂直腔面发射激光器(VCSEL)外延片表面,采用选择液相外延技术在其上面制备了用于超高密度光存储的扫描近场光学显微术GaAs微探尖阵列,并用扫描电子显微镜对微探尖阵列进行了表征.结果表明,在合适的条件下,微探尖呈金字塔状,并且有着较好的分布周期性.这对解决微探尖与VCSEL出光窗口的对准问题、批量制备问题和实现多探尖并行扫描具有实际应用价值.
使用GaAs(001)襯底模擬垂直腔麵髮射激光器(VCSEL)外延片錶麵,採用選擇液相外延技術在其上麵製備瞭用于超高密度光存儲的掃描近場光學顯微術GaAs微探尖陣列,併用掃描電子顯微鏡對微探尖陣列進行瞭錶徵.結果錶明,在閤適的條件下,微探尖呈金字塔狀,併且有著較好的分佈週期性.這對解決微探尖與VCSEL齣光窗口的對準問題、批量製備問題和實現多探尖併行掃描具有實際應用價值.
사용GaAs(001)츤저모의수직강면발사격광기(VCSEL)외연편표면,채용선택액상외연기술재기상면제비료용우초고밀도광존저적소묘근장광학현미술GaAs미탐첨진렬,병용소묘전자현미경대미탐첨진렬진행료표정.결과표명,재합괄적조건하,미탐첨정금자탑상,병차유착교호적분포주기성.저대해결미탐첨여VCSEL출광창구적대준문제、비량제비문제화실현다탐첨병행소묘구유실제응용개치.
