北京工业大学学报
北京工業大學學報
북경공업대학학보
JOURNAL OF BEIJING POLYTECHNIC UNIVERSITY
2005年
5期
514-518
,共5页
吉元%刘志民%付厚奎%李志国%钟涛兴%张虹%吴月华%付景永
吉元%劉誌民%付厚奎%李誌國%鐘濤興%張虹%吳月華%付景永
길원%류지민%부후규%리지국%종도흥%장홍%오월화%부경영
同步辐射源X射线衍射%Al互连线%热应力%电迁徙
同步輻射源X射線衍射%Al互連線%熱應力%電遷徙
동보복사원X사선연사%Al호련선%열응력%전천사
为研究VLSI金属互连线的应力导致IC器件失效的问题,采用同步辐射源X射线衍射技术,原位测试了VLSI中Al互连线在电迁徙及加热条件下的应力变化.沉积态的Al互连线在室温下为拉应力. 退火过程使拉应力逐渐减小,在300～350℃过程中由拉应力转为压应力.在电流密度为(3×105～4×106)A/cm2,275min的电徙动实验过程中,Al互连线阳极端由拉应力转变为压应力,并随后随着电流密度的增加而增加.此外,采用扫描电镜(SEM)观察了Al互连线的电迁徙失效特征及应力释放过程.
為研究VLSI金屬互連線的應力導緻IC器件失效的問題,採用同步輻射源X射線衍射技術,原位測試瞭VLSI中Al互連線在電遷徙及加熱條件下的應力變化.沉積態的Al互連線在室溫下為拉應力. 退火過程使拉應力逐漸減小,在300～350℃過程中由拉應力轉為壓應力.在電流密度為(3×105～4×106)A/cm2,275min的電徙動實驗過程中,Al互連線暘極耑由拉應力轉變為壓應力,併隨後隨著電流密度的增加而增加.此外,採用掃描電鏡(SEM)觀察瞭Al互連線的電遷徙失效特徵及應力釋放過程.
위연구VLSI금속호련선적응력도치IC기건실효적문제,채용동보복사원X사선연사기술,원위측시료VLSI중Al호련선재전천사급가열조건하적응력변화.침적태적Al호련선재실온하위랍응력. 퇴화과정사랍응력축점감소,재300～350℃과정중유랍응력전위압응력.재전류밀도위(3×105～4×106)A/cm2,275min적전사동실험과정중,Al호련선양겁단유랍응력전변위압응력,병수후수착전류밀도적증가이증가.차외,채용소묘전경(SEM)관찰료Al호련선적전천사실효특정급응력석방과정.
